H2 리사이클링 & 정제시스템 (HRP-2000)
l 엠필드 & 호라이즌의 모든시스템과 작동하도록 최적화 되어 있습니다.
- 공정에서 나오는 테일 가스의 고용량 수소를 제거, 재활용 및 정제합니다.
- 기존의 테일 가스 연소에 비해 깨끗하고 절약됩니다.
- 수소 재활용량은 평균 80%에 도달하여 99.999%의 수소 정화를 제공합니다.
- 수소 구매 비용을 줄여 ROI를 높입니다.
테일 가스 공정
반도체 제조공정에서 발생하는 Tail Gas에는 다량의 수소, 암모니아, 수소가 함유되어 있으며, Tail Gas 처리는 Horizon이 전문기업입니다.
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